一、半導體潔凈室
潔凈室是指空氣懸浮粒子濃度受控的房間，其建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子，并對室內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈室工程是半導體集成電路制造環節中重要的一環，直接決定了最終產品的成敗。從1990年代開始至今，半導體技術飛速發展，精度不斷提高，對生產環境的潔凈度提出了新的要求，潔凈技術開始騰飛。作為半導體產業必需的潔凈環境提供者，潔凈室空氣凈化也將迎來新一輪的成長與爆發。
典型的半導體工廠潔凈室如下圖所示
依據功能劃分，潔凈室可分為上技術夾層、潔凈工藝層、下技術夾層三個主要區域。為了保證半導體尖端工藝所需的潔凈度，在上技術夾層與潔凈工藝層之間、潔凈室關鍵機臺內，均裝有由風機過濾單元（FFU/EFU）、高效/超高效過濾器(HEPA/ULPA)及化學過濾器所構成的高過濾精度空氣凈化循環設備，以確保半導體制程工藝所需的超高潔凈度與超低氣態分子污染物濃度。
二、高效/超高效過濾器
高效/超高效過濾器是保證潔凈室潔凈度的“心臟”。隨著技術的不斷進步，高效過濾器在結構上經歷了從有隔板過濾器向無隔板密褶式的轉變，隨著結構的改變，也帶來了效率的大幅度提升，目前半導體潔凈室最高等級的超高效過濾器可以達到U17(99.999995%@0.1～0.2μm）的過濾效率。除了結構形式上的轉變，高效/超高效過濾器的核心過濾材料也在不斷創新。超細玻璃纖維濾紙是最傳統的高效/超高效過濾器濾材，具有效率范圍廣、容塵量高、使用壽命長、阻燃性好的優點。但同時也有阻力高、脆性大、不耐濕、釋氣（Outgassing）高、無法降解的缺點。PTFE濾料的誕生，一定程度上彌補了玻纖濾料的不足，它具有阻力低、韌性好、釋氣（Outgassing）低等諸多優點，但也有自身的不足。由于PTFE濾料屬于膜過濾，因此阻力上升較快，且不阻燃。超細玻璃纖維與PTFE濾材的性能對比如下所示。
嘉興富瑞邦新材料科技有限公司始終專注于納米纖維材料的開發及規模化生產技術研發，開發的新型高效納米纖維空氣凈化濾材相比玻纖濾材，阻力降低了30%以上，并且加載A2灰時阻力上升速度更慢，同時容塵量也提高了30%（注：容塵量采用0.3微米NaCl測試，測試終阻力為2倍初始阻力），可替代傳統玻纖濾材，助力半導體潔凈室領域節能技術應用，成為空氣凈化行業的革命性技術。
三、高效納米纖維過濾器優勢分析
在潔凈室領域，高效納米纖維過濾器與傳統的玻纖過濾器相比，具有以下優勢：
1）更高的過濾效率：高效納米纖維過濾器的纖維直徑通常在100納米，比傳統過濾介質更細，可以有效地過濾掉更小的微粒和細菌等微生物，因此具有更高的過濾精度和過濾效率。
2）更低的阻力：納米纖維過濾器所用濾材的纖維直徑更細，可以形成更多的氣孔，具有更高的孔隙率，從而減小空氣流動時的阻力，阻力低的高效過濾器可以確保潔凈室內的空氣流動速度保持在最佳水平，同時保證室內空氣的凈化效果。
3）更長的使用壽命：納米纖維過濾器的纖維間距小、結構穩定，濾材拉伸強度高，不容易損壞和磨損，同時因為納米纖維過濾器阻力更低，阻力上升速度慢，達到相同的終阻力時，納米纖維過濾器需更長的時間，可減少更換和維護的次數，擁有更長的使用壽命。
4）提高潔凈室生產效率：潔凈室中的一些生產工藝需要在特定的溫度和濕度條件下進行，如半導體加工、涂裝處理等。如果溫度或濕度不穩定，會影響到生產效率和工藝精度，進而導致產品的性能和質量問題。保持潔凈室內的穩定溫度和濕度可以降低產品中含水量的變化，提高產品的穩定性和可靠性。而阻力低的納米纖維過濾器可以提高空氣流動速度，有助于保持潔凈室內的穩定溫度和濕度，從而提高潔凈室的生產效率和產品質量。
5）更小的系統噪音：在相同風速下，高效低阻納米纖維過濾器所需的風量更小，噪音也更小，降低噪音對工作人員身體損害。
6）降低能耗和生產成本：納米纖維過濾器阻力更低，所需的風量更小，低阻力的過濾器能減少風機的工作負荷，降低噪音和能耗，減少能源費用；同時由于其壽命更長，可減少更換和維護的次數，也就減少了更換過濾器的成本；保證了生產效率和產品質量，降低企業生產成本。
綜上所述，高效低阻納米纖維過濾器可以保證潔凈室正常運行，節約能源并延長過濾器使用壽命，同時有助于提高潔凈室生產效率和產品質量，這些優勢使其成為潔凈室中理想的過濾器選擇，是潔凈室的重要組成部分。
